柔性传感器的制备方法技术

　　本发明专利技术涉及一种柔性传感器的制备方法，包括以下步骤：在柔性基体的部分表面修饰可碳化高分子，形成可碳化高分子层；使用激光照射至少一部分可碳化高分子层以实现原位碳化，形成传感元件；将传感元件的至少两处进行电连接以形成电极，得到柔性传感器。本发明专利技术的方法成本低、普适性强、设计灵活、制作简便，加工手段可自动化，工艺可控性好，所制备的柔性传感器具有多功能性，敏感度高。

　　随着柔性和软电子设备的需求不断增长，可穿戴柔性传感器在个性化的健康监测、人体运动检测、人机交互、软机器人等领域具有重要应用。柔性传感器设备主要包括传感元件和柔性基体。柔性基体一般选择PET等可延性塑料和PDMS等的橡胶。此外，纸和织物等环保低成本基体材料引起了人们的广泛关注。目前柔性传感技术主要将碳纳米管、多孔硅、多孔氧化铝、氧化九游科技有限公司,九游官方网站,九游j9锌纳米棒、石墨、金纳米薄膜等材料通过滴涂、墨水笔书写、铅笔书写、喷墨印刷、丝网印刷等技术与柔性基体复合。如将碳纳米管或石墨纳米片涂覆于纸的技术(Han,J-W.；Kim,B.；LiJ.；Meyyappan,M.CarbonNanotubeBasedHumiditySensoronCellulosePaper.J.Phys.Chem.C2012,116,22094–22097；Zhao,H.；Zhang,T.；Qi,R.；Dai,J.；Liu,S.；Fei,T.DrawnonPaper:AReproducibleHumiditySensitiveDevicebyH

　　一种柔性传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在柔性基体的部分表面修饰可碳化高分子，形成可碳化高分子层；(2)使用激光照射至少一部分所述可碳化高分子层以实现原位碳化，形成传感元件；(3)将所述传感元件的至少两处进行电连接以形成电极，得到所述柔性传感器。

　　1.一种柔性传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)在柔性基体的部分表面修饰可碳化高分子，形成可碳化高分子层；(2)使用激光照射至少一部分所述可碳化高分子层以实现原位碳化，形成传感元件；(3)将所述传感元件的至少两处进行电连接以形成电极，得到所述柔性传感器。2.根据权利要求1所述的柔性传感器的制备方法，其特征在于，在步骤(1)中，包括以下步骤：将所述可碳化高分子的前驱体溶液修饰于所述柔性基体的部分表面，在100-300℃下进行热处理，形成所述可碳化高分子层。3.根据权利要求2所述的柔性传感器的制备方法，其特征在于：所述前驱体溶液为聚酰胺酸的有机溶液，所述可碳化高分子为聚酰亚胺。4.根据权利要求1所述的柔性传感器的制备方法，其特征在于，在步骤(1)中，包括以下步骤：将所述可碳化高分子的有机溶液修饰于所述柔性基体的部分表面，在100-300℃下进行热...