一种柔性传感器制造工艺及柔性传感器

　　(19)中华人民共和国国家知识产权局(12)发明专利(10)授权公告号 (45)授权公告日 (21)申请号 9.1(22)申请日 2020.01.14(65)同一申请的已公布的文献号 申请公布号 CN 111243966 A(43)申请公布日 2020.06.05(73)专利权人 联合微电子中心有限责任公司地址 400030 重庆市沙坪坝区西园一路28号附2号(72)发明人 焦文龙王淼曾怀望杨睿峰汪浩鹏张培健(74)专利代理机构 重庆中之信知识产权代理事务所(普通合伙) 50213代理人 罗庆(51)Int.Cl.H01L 21/50 (2006.01)H01L 21/60 (2006.01)H01L 23/50 (2006.01)审查员 薛源 (54)发明名称一种柔性传感器制造工艺及柔性传感器(57)摘要本发明提供了一种柔性传感器制造工艺及柔性传感器，该制造工艺包括：在第一硅晶圆上制作第一柔性衬底层，并在所述第一柔性衬底层上制作传感器单元；在第二硅晶圆的表面通过半导体工艺制作电路单元；将所述第一硅晶圆制作有传感器单元的一侧与所述第二硅晶圆制作有电路单元的一侧面对面键合，使传感器单元与电路单元建立起电连接关系而成为检测单元；对所述第二硅晶圆的背面进行处理以制作成薄硅片，并去除第一硅晶圆，制得具有检测单元的单芯片柔性传感器。本发明提出的柔性传感器制造工艺具有工艺兼容性强、可批量化生产，制作的柔性传感器结构大为简化，集成度高，性能优越，满足柔性运用的可穿戴、医疗、机器人九游科技有限公司,九游官方网站,九游j9等领域。权利要求书2页 说明书4页 附图4页CN 111243966 B2021.11.05CN 111243966 B